主要的流程的作用：

自動砂濾機             去除水中較大之顆粒

多層活性碳機          除氯及吸附有機物

TOC-UV/UV殺菌機  殺菌及去除TOC

RO逆滲透機            去除水中96%離子/懸浮污泥/TOC

混床系統                提高純水電阻值

核子級純水機          維持超純水電阻值的穩定

1μm 過濾器           去除水中較小之顆粒

 0.1μm 過濾器       去除水中極小之顆粒